Vakuumsystem mit VRD16-Vakuumpumpe für CVD-System

Ich. Übersicht

Das System (kann das Vakuum im Röhrenofen auf 0,6 Pa pumpen) besteht aus einem Ansaugflansch (selbstgebaut) mit KF25-Schnittstelle, Hochvakuum-Baffle-Methode, Widerstandsvakuum Manometer, Faltenbalg, Halterung (selbstgebaut), Vakuumpumpe. Schließen Sie das T-Rohr an Flanschauslass, verbinden Sie das Widerstandssilikon mit einem Ende des Dreiwegerohrs, Verbinden Sie das Hochvakuum-Klappenventil mit dem anderen Ende und schließen Sie die Klappe an Ventil und die Vakuumpumpe mit der Riffelung von Dia25, und verwenden Sie den KF25 Quick Klemme für den Anschlussanschluss. .

2. Druckerkennungssystem

Einzelwiderstand vom Typ ZDR-I/ZDR-I-LED Vakuummeter

Das Widerstandsvakuummeter (auch bekannt als Pirani-Vakuummeter) verwendet einen speziell stabilisierten ZJ-52T Widerstandsmessgerät und wendet einen neuen Konstanttemperatur-Betriebsmodus an konstante Leistung. Gleichzeitig dient der Mikroprozessor zur Steuerung des Nichtlinearität der Regelung. Lineare Verarbeitung. Es hat die Eigenschaften von stabiler Leistung, großem Messbereich, schneller Reaktion und geringer Drift. Und leistungsstarke und zuverlässige mikroprozessorbasierte Relaissteuerung, serielle Kommunikation Ausgang, Vakuum-Analogausgang und andere Funktionen. Besonders geeignet für Grob- und Niedervakuummessung und Steuerung von Vakuumanwendungen.

Technische Parameter:

* Verteilungsregelung: Widerstandsmessgerät ZJ-52T

* Messbereich: 10 5ï½10 -1 Pa

* Anzahl der Messungen: 1 Weg

* Anzahl der Steuerkanäle: 2 Straßen können auf 4 oder 8 Straßen erweitert werden

* Regelbereich: 5 × 10 3 ~ 5 × 10 -1 Pa

* Steuermodus: Relaiskontaktausgang, Belastbarkeit AC220V/3A (oder DC28V/3A), nicht induktiv laden

* Leistung: 90–260 V/50 Hz oder 220 V ± 10 % 50 Hz

* Stromverbrauch: 25 W

* Gewicht: 4 kg/3 kg/0,5 kg (je nach Chassis)

* Fahrgestellgröße: 240 × 88 × 280 oder 265 × 119 × 280 oder 96 × 96 × 120

480 à 88 à 280 oder 480 à 119 à 280 (Breite à Höhe à Tiefe)

Leistungsmerkmale:

*LED Greenscreen-Digitalanzeige.

* Große Auswahl an Sternumfragen

* Schnelle Reaktionsgeschwindigkeit

* Die Mikrocomputerkorrektur reguliert die Nichtlinearität und reduziert Messfehler.

* Optische Isolierung, digitale Filterung, verbesserte Anti-Interferenz-Fähigkeit.

* PVC-Farbplatte, schönes Aussehen.

* Punktsteuerung oder Bereichsrelais-Steuerausgang, während der Sollwert ausgeschaltet ist Schutzspeicherfunktion.

3. Nehmen Sie die Vakuumpumpe VRD16

1 Standard-Exportpaket: Interner Antikollisionsschutz, externe Export-Holzkistenverpackung.

2 Versand per Express, auf dem Luftweg, auf dem Seeweg entsprechend den Anforderungen der Kunden, um den am besten geeigneten Weg zu finden.

3 Wir sind für den Schaden während des Versandvorgangs verantwortlich und tauschen den beschädigten Teil kostenlos für Sie aus.