1600C CVD-Ofen mit Gasversorgungssystem und Vakuumsystem

Verkaufsleiter: Gia

Wechat: Dingqiuna

Artikel-Nr.:
TMAX-1600PECVD
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Verschiffungshafen:
Xiamen Port
Vorlaufzeit:
5 Days
:
CE, IOS, ROHS, SGS, UL Certificate

Produktdetails

1600C PECVD-Ofen mit Gasversorgungssystem und Vakuumsystem

Die Das PECVD-System besteht aus einem Röhrenofen, einer Quarzvakuumkammer und einem Vakuum System, ein Gasversorgungssystem und ein Hochfrequenz-Stromversorgungssystem. Hauptsächlich Verwendet für: Wachstum von Metalldünnfilmen, Keramikdünnfilmen, Verbunddünnfilmen, Graphen usw. Es ist einfach, Funktionen hinzuzufügen und Funktionen wie zu erweitern Plasmareinigung und Ätzen. Das PECVD-System bietet die Vorteile eines hohen Films Abscheidungsrate, gute Gleichmäßigkeit, hohe Konsistenz und Stabilität.

Detaillierte technische Angaben Parameter

Modell

TL1600-I

Leistung

5KW

Rohrgröße: Außendurchmesser (mm)

Hochreines Korundrohr: 60 mm (Rohrdurchmesser)

Auf jeder Seite sind zwei Ofenstopfen angebracht. Der Der Ofenstopfen kann die Wärmestrahlung in der Mitte des Ofenrohrs blockieren und muss vor dem Erhitzen in der richtigen Position im Ofen platziert werden.

Dimension

1120X490X855

Versorgungsspannung

220V

Phase

einphasig

Heizelement

Silizium-Molybdän-Stab Modell 1800

Temperaturregelungstyp

Verwenden Yudian-Programm-Temperaturkontrollinstrument (Standard)

1. 30-Segment-Programm-Temperaturregelung, intelligente PID-Anpassung.

2. Mit einem Übertemperaturschutz wird der Heizkreis des Elektroofens geschützt automatisch abgeschaltet werden, wenn die Temperatur zu hoch ist oder wenn die Temperatur überschritten wird Paar ist kaputt. EIN, die EIN-Leuchte auf dem Panel ist aus, die AUS-Leuchte ist an, und der Elektroofen ist nur begrenzt geschützt).

3. Mit 485-Kommunikationsschnittstelle (Standard mit optionaler Software)

4. Es verfügt über eine Stromausfallschutzfunktion, d. h. wenn der Ofen ausgeschaltet ist eingeschaltet, nachdem das Gerät ausgeschaltet wurde, startet das Programm nicht von vorne Anfangstemperatur, beginnt jedoch bei der Ofentemperatur, wenn die Stromversorgung erfolgt ist ausgeschaltet.

5.Die Das Messgerät verfügt über die Funktion der Temperaturselbstoptimierung

(Sie müssen für den Ersatz importierter Produkte extra bezahlen Instrumente, optional)

FP93-Instrument EUROTHERM-Instrument Touchscreen Instrument

(shimaden, Japan)

Kammermaterial

1. Das Material des Herdes ist von hoher Qualität Polykristalline Aluminiumoxidfaser.

2. Die Oberfläche des Innenofens ist beschichtet importierte 1800-Grad-Hochtemperatur-Aluminiumoxidbeschichtung, die die erhöhen kann Emissionsgrad und sorgen für ein ausgeglicheneres Temperaturfeld.

Ventile und Flansche

Kontrollgenauigkeit

+/- 1â

Trigger

Phasenverschobener Trigger

Elektrogerät

Zhejiang Chint

siliziumgesteuert

106/16E SEMIKRON

Max. temp

1600â

Nenntemperatur

1550â

Heizrate

â¤20â/Min(Kann nach Bedarf geändert werden)

Empfohlene Heizrate

â¤10 â/Min

Thermoelementmodell

B-Typ

Länge der Heizstrecke

300mm

Umgebungsoberflächentemperatur

â¤45â

Vakuumsystem

VS-0.1 Vakuumsystem

VS-0.1 Das Vakuumsystem kann den Vakuumgrad im Rohrofenrohr auf 0,1 Pa einstellen (und ist mit einem Widerstandsvakuummeter ausgestattet). Anzeige).

Mit LED grün Bildschirm-Digitalanzeige.

Adoptieren VRD16 Vakuumpumpe

VRD16	Fachbegriff		Spezifikation
VRD-16	Pumpgeschwindigkeitm³/hï¼L/sï¼	50Hz	16 m³/h
			4,4 L/s
		60Hz	19,2 m³/h
			5,2 L/s
	Partialdruck begrenzen - kein Gasballastï¼Paï¼		4x10-2
	Gesamtdruck begrenzen - kein Gasballastï¼Paï¼		4x10-1
	Begrenzender Gesamtdruck - Gasballastï¼Paï¼		8x10-1
	Stromversorgung		Einphasig/dreiphasig
	Motorleistungï¼KWï¼		0,75 kW/0,55 kW
	Einlass-/Auslassanschluss DN		KF25
	Ölkapazität		0,9-1,5 L
	Motordrehzahlï¼U/minï¼	50Hz	1440 U/min

Gasversorgungssystem

Gas Durchflussmesser-Gasversorgungssystem

Technische Parameter:

l Pneumatischer Kanal: 6

l Pneumatische Durchflussregelung: Massendurchflussmesser verwenden.

l Schrankgröße: 600 x 600 x 600 mm

l Mit LED-Anzeige

l Technische Parameter des Massendurchflussmessers:

Schnittstelle	Î¦6
Anzeige	LED
Arbeitet Umgebungstemperatur	5~45â
Durchfluss Controller	Proton Welcher Durchflussregler verwendet wird, finden Sie auf der Rückseite
Edelstahl Stahlrohr	Î¦6 außen X Î¦4 innen
Druck Vakuumtisch	-0,1ï½0,15 MPa, 0,01 MPa/div
Halt Ventil	Î¦6
Durchfluss Steuerung	SPS intelligente Steuerung

Technisch Parameter des Massendurchflussreglers:

Produkt Beschreibung: Gemeinsamer Typ, analoger Schaltkreis

Produkt detaillierte Beschreibung: Gewöhnlicher Typ, Analogschaltung, Gummidichtung, rohrförmig Shunt, nicht leicht zu blockieren.

Haupt Indikatoren:

Bereich	5, 10, 20, 30, 50, 100, 200SCCM (Sie können einen beliebigen Bereich wählen) Bitte bestätigen Sie, wann Sie geben die Bestellung auf
Genauigkeit	±1 % F.S.
Linear	0,5 % vom Endwert
Wiederholbarkeit	±0,2 % vom Endwert
Antwort Zeit	1S
Luft Druckabfall	<0,01 MPa
Maximum Druck	3MP
Arbeitet Umgebungstemperatur	5ï½45â
Eingabe und Ausgangssignal	0ï½+5,00V
Leistung Versorgung	+15V 50mA -15V 50mA
Abmessungen	15830110
Gewicht	0,9 kg

Konfiguration des Gasversorgungssystems:

Proton Durchflussmesser	6
Mechanisch Manometer (Bereich -0,1~0,15 MPa)	1
Edelstahl Absperrventile aus Stahl	6
Edelstahl Durchsteckverbinder aus Stahl	6
Edelstahl Ventilverbindungen aus Stahl	2
Edelstahl Stahlflaschenanschluss	6
PTFE Rohr	30M
Dia80X140MM Gasmischbehälter	1
Ofenrahmen	1 Satz

HF-Generatoren / HF Netzteile

Wichtigste technische Parameter der HF-Stromversorgung:

Leistungsabgabebereich	0-500 W
Maximum reflektiert Leistung	200 W
Arbeitsfrequenz	RF: 13,56 MHz ± 0,005 %
Leistungsstabilität	+/-0,1 %
Harmonische Komponente	â¤-50dbc
Rf-Bereichsbreite	0-600mm einstellbar
Übereinstimmender Weg	automatisch
Kühlmodus	Kältepunkte
Rauschen	<50dB
Radio Frequenzschnittstelle	50Î© N-Typ
Eingangsleistung	208-240 V 50/60 HZ

Garantie

Ein Jahr Garantie und lebenslange Garantie Technischer Support

Besonderer Hinweis:

1. Verbrauchsteile wie z.B Heizelemente, Ofenrohre, Probentiegel usw. befinden sich nicht im Lieferumfang Garantiezeitraum.

2. Schäden, die durch die Verwendung von verursacht werden Korrosive Gase und saure Gase fallen nicht unter die Garantie.

Vorsichtsmaßnahmen

1. Der Luftdruck in der Der Druck im Ofenrohr sollte nicht höher als 0,02 MPa sein

2. Aufgrund der hohen Luft Um den Druck in der Gasflasche zu verringern, muss ein Überdruckventil installiert werden die Gasflasche, wenn Gas in das Ofenrohr eingeleitet wird. Um sicherzustellen Aus Sicherheitsgründen wird empfohlen, einen Druck unter 0,02 MPa zu verwenden

3. Wenn das Ofenrohr verwendet wird ist Korundrohr, wenn die Ofenkörpertemperatur höher als 1500 °C ist, sollte sich das Ofenrohr nicht im Vakuumzustand befinden, und der Luftdruck im Ofenrohr sollte dem Atmosphärendruck entsprechen Druck.

4. Das Gas strömt in die Der Durchmesser des Ofenrohrs sollte weniger als 200 SCCM betragen, um Kälteeinwirkungen zu vermeiden Luftstrom am heißen Ofenrohr

5. Für die Probenerwärmung Experimentieren Sie, es wird nicht empfohlen, das Auslassventil und das Einlassventil zu schließen das Flanschende des Ofenrohrs. Wenn Sie das Gasventil schließen müssen, um das zu erhitzen Bei der Probenahme ist stets auf die Anzeige des Manometers zu achten. Wenn der Druck mehr als 0,02 MPa beträgt, müssen Sie sofort den Auspuff öffnen Ventil zur Vermeidung von Unfällen (z. B. Ofenrohrbruch, herausfliegender Flansch, usw.) .

6. Verwenden Sie kein Graphit Tiegel in Aluminiumoxidröhren.

7. MoSi2-Heizelement Andernfalls sollte es nicht längere Zeit bei niedrigen Temperaturen (400–700 °C) verwendet werden es könnte das Heizelement beschädigen.