Labor-CVD-System mit 1500–1500 °C Zweizonen-Drehrohrofen

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Artikel-Nr.:
TMAX-1500-1500CVD
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Verschiffungshafen:
Xiamen Port
Vorlaufzeit:
5 Days
:
CE, IOS, ROHS, SGS, UL Certificate

Produktdetails

Labor-CVD-System mit 1500–1500 C Zweizonen-Drehrohrofen

Das CVD-System besteht aus einem Gasversorgungssystem + einem Rohrofen + einem Vakuumsystem und die maximale Temperatur kann 1200 Grad, 1400 Grad, 1600 Grad und 1700 Grad erreichen. Die Heizzone kann eine Einzeltemperaturzone, eine Doppeltemperaturzone, eine Dreitemperaturzone usw. sein. Das ultimative Vakuum kann 10–3 Pa erreichen. Das Gasversorgungssystem kann zur Durchflussregulierung ein Massendurchflussmesser oder ein Schwebekörperdurchflussmesser sein. Die Anzahl der Mischkanäle kann 2 Kanäle, 3 Kanäle, 4 Kanäle und 5 Kanäle betragen.

Detaillierte technische Parameter

Modell	1500-1500-I 1500-1500-II
Leistung	9KW 9KW
Röhre Größe	Dia 60(OD) X1400 mm Durchmesser 80(OD) X1400 mm
Lieferung Spannung	380V 380V
Phase	zweiphasig zweiphasig
Röhre	Korundrohr: hochreines AIO Keramik (einschließlich) 99,5 %
Heizung Element	Zuerst Temperaturzone: Silizium-Kohlenstoff-Stab Zweite Temperaturzone: Silizium-Kohlenstoff-Stab
Rotationsgeschwindigkeit des Ofenrohrs	Mit stufenlosem Motor mit variabler Drehzahl, Die Geschwindigkeit kann zwischen (1 und 25 U/min) eingestellt werden
Motorleistung	40W
Der Ofen kann in einem Winkel geneigt werden	0-30 Grad
Art des Laufwerks	Zahnriemen und Zahnrad
Kontrolle Modus	UAV-Programm-Temperaturkontrollinstrument (Standard) 1, 30-stufige Programmtemperaturregelung Intelligente PID-Anpassung. 2. Mit Übertemperaturschutz, der elektrischen Der Heizkreis des Ofens wird automatisch abgeschaltet, wenn die Temperatur sinkt Überhitzung oder Bruch (wenn die Temperatur des Elektroofens übersteigt). 1520 Grad oder das Thermoelement ist durchgebrannt, das AC-Relais im Hauptstromkreis automatisch getrennt, der Hauptstromkreis ist unterbrochen. An, das AN Das Licht auf dem Bedienfeld ist aus, das AUS-Licht ist an und der eingeschränkte Schutz ist aktiviert Elektroofen). 3, mit 485-Kommunikationsschnittstelle (Standard). beim Kauf von Software) 4, mit Ausschaltschutzfunktion, das Das heißt, wenn das Gerät eingeschaltet wird, nachdem das Gerät ausgeschaltet wurde, wird das Programm ausgeführt startet nicht von der Starttemperatur, sondern von der Ofentemperatur steigt ab dem Zeitpunkt des Stromausfalls an. 5, das Messgerät verfügt über die Funktion der Temperaturselbstoptimierung (Sie müssen für den Ersatz extra bezahlen importierter Instrumente, optional) FP93-Instrument EUROTHERM-Instrument Touchscreen Instrument (shimaden, Japan)
Ofenmaterial	1. Hochwertiges, hochreines polykristallines Aluminiumoxid Durch Vakuumfiltration gebildeter Faserhärtungsofen. 2. Übernahme japanischer Technologie zum Formen.
Kontrolle Genauigkeit	+/- 1â
Trigger	Phasenverschoben Auslöser
Elektrisch Gerät	Zhejiang Chint
Silizium kontrolliert	106/16ESEMIKRON
Der höchste Temperatur in der ersten und zweiten Temperaturzone	1500â
Bewertet Temperatur in der ersten und zweiten Temperaturzone	1400â
Heizung Rate	â¤20â/ Min. (kann je nach Bedarf geändert werden)
Empfohlen Temperaturanstiegsrate	â¤10â/ Min
Thermoelement	Geben Sie als Erstes S ein Temperaturzone S Geben Sie den zweiten Temperaturbereich ein
Länge des Heizabschnitts in der ersten und zweiten Temperaturzone	300+300mm 300+300mm
Konstante Temperaturlänge	450mm 450mm

Gx-3 Dreikanal-Luftversorgung (gemischt Luft) System

1.1. Das Gas verlässt den Zylinder Über ein Druckminderventil drucklos gemacht, gelangt es durch den PTFE-Schlauch zum Eingang des Gasversorgungssystems und durchläuft dann den Massenstrom Meter, um den Gasfluss zu steuern, und strömt dann durch den Gasmischtank und gelangt dann in den Ofeneinlass.

1.2. Am Gasmischbehälter und am Manometer ist ein Manometer angebracht Die Anzeigescheibe und der Protonen-Durchflussmesser-Controller sind auf derselben installiert Panel.

1.3. Zur Sicherheit verfügt jede Gasleitung über ein Hochdruck-Absperrventil.

1.4. Der Gasweg verfügt über einen hochpräzisen Gasmassendurchflussmesser und das Innere des Der Gasweg besteht vollständig aus Edelstahlrohr, das eine gute Korrosion aufweist Widerstand.

1,5. Alle Verbindungen in der Box sind durch Edelstahlhülsen verbunden gute Luftdichtheit und hohe Druckbeständigkeit.

2. Technische Parameter:

Pneumatischer Kanal: 3

Gasflusskontrolle: Massendurchflussmesser.

Schrankabmessungen: 600X600X600mm

Massendurchflussmesser technische Parameter:

Schnittstelle: Î¦6

Anzeige: LED

Arbeitsumgebungstemperatur: 5~45°C

Durchflussregler: Parameter des Protonenflussreglers Bitte schauen Sie noch einmal vorbei

Edelstahlrohr: Î¦6 außerhalb X Î¦4

Druckvakuum Tabelle: -0,1ï½0,15 MPa, 0,01 MPa/Division

Absperrventil: Î¦6

Flusskontrolle: SPS Intelligente Steuerung

3. Massendurchflussmesser Technische Parameter:

Produkt Name: Massendurchflussregler

Produkt Beschreibung: Normaler Typ, analoge Schaltung

Produkt Details: Gewöhnlich, analoger Schaltkreis, Gummidichtung, röhrenförmiger Shunt, nicht leicht zu entfernen Block.

Hauptsächlich Indikatoren: Bereich: 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 SCCM, 1, 2, 3, 5, 10 SLM (Sie können den Bereich beliebig wählen)

â¢ Genauigkeit: ±1 % F.S

â¢ Linear: 0,5 % F.S

â¢ Wiederholgenauigkeit: ±0,2 % F.S

â¢ Reaktionszeit: 1S

â¢ Luftdruckabfall: <0,01 MPa

â¢ Maximaler Druck: 3MP

â¢ Arbeitsumgebungstemperatur: 5ï½45°C

â¢ Eingangs- und Ausgangssignale: 0~+5,00V

â¢ Leistung: +15V 50mA -15V 50mA

â¢ Abmessungen: 158*30*110

â¢ Gewicht: 0,9 kg

4. Konfiguration des Gases Versorgungssystem:

1. Protonendurchflussmesser: 3

2. Mechanisches Manometer (Bereich -0,1 ~ 0,15 MPa): 1

3. Absperrventil aus Edelstahl: 4

4. Edelstahlplattenverbindungen: 4

5. Ventilanschluss aus Edelstahl: 2

6. Flaschenanschluss aus Edelstahl: 3

7. PTFE-Schlauch: 15M

8. Mischtank Dia80X140MM: 1

9. Ofengestell: 1 Satz

VS-Hochvakuumsystem

Molekularpumpeneinheit (Option 1 oder Option 2)	Geräteeingangsspannung	380V /220V
	Faltenbalg	KF40X1000
	Vakuum-Umlenkventil	KF40
	Abmessungen	600X600X600
	Molekularpumpe (Option 1)	Modell	FJ620
		Eingangsspannung	380V
		Einlassflansch	DN160
		Pumprate L/S (zur Luft)	600
		Enddruck (Pa)	6Ã10-7
		Kühlart	Wasserkühlung
		Kühlwasserdruckï¼MPaï¼	0,1-0,2
		Kühlwassertemperatur	<25â
		Umgebungstemperatur	0~40â
		Empfohlener Startdruck	<100pa
	Vakuumpumpe der Vorstufe TRP-24 der Molekularpumpe (FJ620 Molekularpumpe muss mit vorheriger Pumpe ausgestattet sein) (Option 2	åç	0,75 kW
		çµå	380V
		è½¬é	1450 U/min
		Â· Einlassdurchmesser	KF25/KF40
		Pumprate des Frontmotorsï¼L/Sï¼	6
		Enddruck	4X10 -2Pa
	Deutschland Pfeiffer Vakuumpumpe (Option 2)	Spannung	220V
		Leistung	110W
		Extraktionsschnittstelle	KF40
		Gewicht	150 kg
		Pumpgeschwindigkeit des Frontmotors	0,9 m 3/h
		Pumprateï¼N2ï¼	33L/S
	Verbund-Vakuummessgeräte	Modell	ZDF
		Stromversorgung	220V 55W
		Regelgenauigkeit	Â± 1 %
		Vakuummeter-Messbereich	10-5 -10 5 Pa