Lab 1200C Einzonen-Rohrofen-CVD-System

Das CVD-System besteht aus Gasversorgungssystem + Rohrofen + Vakuumsystem, und die maximale Temperatur kann 1200 Grad erreichen , 1400 Grad, 1600 Grad und 1700 Grad. Die Heizzone kann eine Einzeltemperaturzone, eine Doppeltemperaturzone, eine Dreitemperaturzone usw. sein. Das ultimative Vakuum kann 10-3Pa erreichen. Das Gasversorgungssystem kann zur Durchflussregulierung ein Massendurchflussmesser oder ein Schwebekörperdurchflussmesser sein. Die Anzahl der Mischkanäle kann 2 Kanäle, 3 Kanäle, 4 Kanäle und 5 Kanäle betragen.

Detaillierte technische Parameter des Rohrofens

Typ	1200-I	1200-II	1200-III	1200-V	1200-VI	1200-VII
Leistung	3,5 kW	3,5 kW	3,5 kW	5KW	6KW	7KW
Rohrgröße: Außendurchmesser (mm)	Durchmesser 60 x 1000	Dia80X1000	Dia100X1000	Dia150X1000	Dia200X1000	Dia250X1000
Abmessungen	1140X450X690	1140X450X690	1140X450X690	1110X530X755	1120X580X805	1314X680X905
Versorgungsspannung	220V
Phase	Einphasig
Heizelement	Widerstandsdraht
Temperaturregelung	Temperaturregelung des UAV-Programms Instrument (Standard) 1, 30-stufiges Temperaturprogramm Steuerung der intelligenten PID-Anpassung. 2. Mit Übertemperaturschutz, Der Heizkreis des Elektroofens wird automatisch unterbrochen, wenn der Die Temperatur ist zu hoch oder defekt (wenn der Elektroofen eingeschaltet ist). Die Temperatur überschreitet 1200 Grad oder das Thermoelement ist durchgebrannt, das AC-Relais am Hauptstromkreis wird automatisch getrennt, der Hauptstromkreis ist gebrochen. Ein, die EIN-Leuchte auf dem Bedienfeld ist aus, die AUS-Leuchte ist an und die Elektroofen mit begrenztem Schutz. 3, mit 485-Kommunikationsschnittstelle (Standard beim Kauf von Software) 4, mit Ausschaltschutz Funktion, das heißt, wenn der Strom eingeschaltet wird, nachdem der Strom ausgeschaltet wurde, Das Programm startet nicht bei der Starttemperatur, sondern beim Ofen Die Temperatur steigt ab dem Zeitpunkt des Stromausfalls. 5, die Das Messgerät verfügt über die Funktion der Temperaturselbstoptimierung (Sie müssen dafür extra bezahlen der Austausch importierter Instrumente, optional) FP93 Temperaturregler (Shimashima, Japan) EUROPÄISCHES Instrument Touchscreen-Instrument
Kammermaterial	1. Hochwertiger Härtungsofen für polykristalline Fasern aus hochreinem Aluminiumoxid durch Vakuumsaugfiltration. 2. Gebildet durch japanische Technologie. 3. Der Abstand und die Steigung des Widerstands Die Drähte im Ofen sind alle entsprechend der besten Thermik angeordnet Technologie in Japan, und das Temperaturfeld wird durch die Thermik simuliert Software.
Ventil und Flansch
60/80/100Draufsicht
Temperaturkalibrierung (optional)	Normal Die Temperaturkalibrierung des Rohrofens gewährleistet die Genauigkeit und Gleichmäßigkeit der Ofentemperatur. Sie können eine einfache Kalibrierung erwerben Zur Unterstützung bei dieser Arbeit steht Ihnen ein Werkzeug des Unternehmens zur Verfügung. Die komplette Kalibrierung Das Kit enthält einen Standard-Thermoelement-S-Typ-Temperaturkalibrator.
Regelgenauigkeit	+/- 1â
Trigger	Phasenverschoben Auslöser
Elektrogerät	Zhejiang Chint
Siliziumgesteuert	106/16ESEMIKRON
Maximale Temperatur	1200â
Nenntemperatur	1150â
Heizrate	â¤30â/ Min(it kann je nach Bedarf geändert werden)
Empfohlene Rate von Temperaturanstieg	â¤15 â/ Min
Thermoelementtyp	K-Typ
Heizlänge	400-440 mm
Konstante Temperaturlänge	150 mm
Temperaturfeldkurve
Temperatur der peripheren Oberfläche	â¤45â
Abdeckungsschutz öffnen System	Wenn die Ofenabdeckung geschlossen ist geöffnet, wird das Relais automatisch die Hauptstromversorgung abschalten, die Sicherheit des Benutzers wirksam gewährleisten.

VS-0.1 Vakuumsystem (VRD16)

Das System (kann das Vakuum im Röhrenofen auf 0,6 Pa pumpen) besteht aus einem Ansaugflansch (selbstgebaut) mit KF25-Schnittstelle, Hochvakuum-Baffle-Methode, Widerstandsvakuum Manometer, Faltenbalg, Halterung (selbstgebaut), Vakuumpumpe. Schließen Sie das T-Rohr an Flanschauslass, verbinden Sie das Widerstandssilikon mit einem Ende des Dreiwegerohrs, Verbinden Sie das Hochvakuum-Klappenventil mit dem anderen Ende und schließen Sie die Klappe an Ventil und die Vakuumpumpe mit der Riffelung von Dia25, und verwenden Sie den KF25 Quick Klemme für den Anschlussanschluss. .

1. Druckerkennungssystem

Einzelwiderstand vom Typ ZDR-I/ZDR-I-LED Vakuummeter

Das Widerstandsvakuummeter (auch bekannt als Pirani-Vakuummeter) verwendet einen speziell stabilisierten ZJ-52T Widerstandsmessgerät und wendet einen neuen Konstanttemperatur-Betriebsmodus an konstante Leistung. Gleichzeitig dient der Mikroprozessor zur Steuerung des Nichtlinearität der Regelung. Lineare Verarbeitung. Es hat die Eigenschaften von stabiler Leistung, großem Messbereich, schneller Reaktion und geringer Drift. Und leistungsstarke und zuverlässige mikroprozessorbasierte Relaissteuerung, serielle Kommunikation Ausgang, Vakuum-Analogausgang und andere Funktionen. Besonders geeignet für Grob- und Niedervakuummessung und Steuerung von Vakuumanwendungen.

2. Technische Parameter:

* Verteilungsregelung: Widerstandsmessgerät ZJ-52T

* Messbereich: 10 5ï½10 -1 Pa

* Anzahl der Messungen: 1 Weg

* Anzahl der Steuerkanäle: 2 Straßen können auf 4 oder 8 Straßen erweitert werden

* Regelbereich: 5 × 10 3 ~ 5 × 10 -1 Pa

* Steuermodus: Relaiskontaktausgang, Belastbarkeit AC220V/3A (oder DC28V/3A), nicht induktiv laden

* Leistung: 90–260 V/50 Hz oder 220 V ± 10 % 50 Hz

* Stromverbrauch: 25 W

* Gewicht: 4 kg/3 kg/0,5 kg (je nach Chassis)

* Fahrgestellgröße: 240 × 88 × 280 oder 265 × 119 × 280 oder 96 × 96 × 120

480 à 88 à 280 oder 480 à 119 à 280 (Breite à Höhe à Tiefe)

3. Leistungsmerkmale:

*LED Greenscreen-Digitalanzeige.

* Große Auswahl an Sternumfragen

* Schnelle Reaktionsgeschwindigkeit

* Die Mikrocomputerkorrektur reguliert die Nichtlinearität und reduziert Messfehler.

* Optische Isolierung, digitale Filterung, verbesserte Anti-Interferenz-Fähigkeit.

* PVC-Farbplatte, schönes Aussehen.

* Punktsteuerung oder Bereichsrelais-Steuerausgang, während der Sollwert ausgeschaltet ist Schutzspeicherfunktion.

4. Nehmen Sie die Vakuumpumpe VRD16

2-Kanal-Massenfluss Zählergasversorgungssystem

1. Übersicht

1) Das Gas tritt aus der Flasche aus, der Druck wird abgebaut Durch das Druckminderventil gelangt es durch den PTFE-Schlauch zum Einlass des Gasversorgungssystems und steuert dann den Gasfluss durch den Massenstrom Meter, strömt dann durch den Gasmischtank und gelangt dann in den Ofen Einlass und das Gas wird abgeführt. Die Luftröhre kommt heraus und verläuft durch die Luftröhre Dreiwegeventil, ein Ende ist mit der Vakuumpumpe verbunden und ein Ende ist an den Luftauslass angeschlossen.

2) Ein Manometer ist an die Gasmischung angeschlossen Tank, die Anzeigescheibe des Manometers und der Massendurchflussmesser sind eingebaut auf demselben Panel.

3) Jede Gasleitung verfügt über ein Hochdruck-Absperrventil aus Sicherheitsgründen.

4) Der Gasweg verwendet einen hochpräzisen Gasschwimmer Durchflussmesser, und der innere Teil des Gaswegs besteht aus einem PTFE-Schlauch, der gute Eigenschaften hat Korrosionsbeständigkeit.

5) Alle Die Verbindungen sind durch Aderendhülsen verbunden, die eine gute Luftdichtheit und hohe Festigkeit aufweisen Druckfestigkeit.

2. Technische Parameter:

Luftkanal: 2

Pneumatische Durchflussregelung: Massendurchflussregler.

Schnittstelle: Φ6

Anzeige: LED

Arbeitsumgebungstemperatur: 5~45°C

Durchflussregler: Massendurchflussregler (siehe unten für detaillierte technische Parameter)

PTFE-Rohr: Φ6 außen XΦ4

Druck-Vakuummeter: -0,1ï½0,15 MPa, 0,01 MPa/Teilung

Globus Ventil: Φ6

3. Der Innendruck des Gasversorgungssystems sollte nicht zu groß sein, sonst kann es leicht zu Luftlecks kommen, solange das Gas kann normal ausströmen.

4. Konfiguration des Gases Versorgungssystem:

1) Massendurchflussmesser: 2

2) Manometer: 1

3) Absperrventil: 3

4) Über den Platinenstecker: 3

5) Ventilanschluss: 2

6) Zylindergelenke: 2

7) Teflonschlauch: 10M

8) Belebungsbecken: 1

9) Ofengestell: 1 Satz

Technische Parameter des Massendurchflussmessers: Massendurchflussregler allgemeiner Typ, analoger Schaltkreis, Gummidichtung, röhrenförmiger Shunt, nicht leicht zu blockieren.

Hauptindikatoren:

Bereich: 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 SCCM, 1, 2, 3, 5, 10 SLM (Sie können den Bereich beliebig wählen)

⢠Genauigkeit: ±1,5 % F.S

⢠Linear: ±0,5 bis 1,5 % F.S.

⢠Wiederholgenauigkeit: ±0,2 % F.S

⢠Reaktionszeit: 10S

⢠Luftdruckabfall: <0,01 MPa

⢠Maximaler Druck: 3MP

⢠Arbeitsumgebung Temperatur: 5ï½45°C

⢠Eingangs- und Ausgangssignale: 0~+5,00V

⢠Leistung: +15V 50mA -15V 50mA

⢠Abmessungen: 158*30*110

1 Standard-Exportpaket: Interner Antikollisionsschutz, externe Export-Holzkistenverpackung.

2 Versand per Express, auf dem Luftweg, auf dem Seeweg entsprechend den Anforderungen der Kunden, um den am besten geeigneten Weg zu finden.

3 Wir sind für den Schaden während des Versandvorgangs verantwortlich und tauschen den beschädigten Teil kostenlos für Sie aus.