Labor-Vakuum-Ionen-Sputter-Beschichter mit drei Zielen und Gasdurchflussregler

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Produktdetails

Labor-Vakuum-Ionen-Sputter-Beschichter mit drei Zielen und Gasdurchflussregler

Modell: SD-2000III

Sputter Coater

Technische Daten

Vakuumpumpe	(Öl erforderlich) Rotationsvakuumpumpe
Rotationspumpgeschwindigkeit	50 Hz: 8 m3/h (2,2 L/s) / 60 Hz: 9,6 m3/h (2,6 L/s)
Vakuumgrenze	2 Pa
Max. Sputterstrom	50 mA
Arbeitsdruck	20 Pa-8 Pa
Staubsaugzeit	<5 Min. (2 Pa)
Vakuummessung	Messbereich von Atmosphäre bis 2x10-2mbar
Gassteuerung	Gasdurchflussregler
Kammergröße	Ï150 * 120 mm (Höhe) Kratzfestes Quarzglas
Zielquelle	Zielgröße Ï47 mm (Au x 0,1 mm, Ag0,5 mm, Cu0,5 mm) /Zielquelle: Au, Ag, Pt, Cu
Betriebsmethode	Bedienungsanleitung
Gewicht/Größe	52 kg / 390 mm Länge x 340 mm Breite x 370 mm Höhe
Stromversorgung	AC 110V 60Hz oder AC 220V 50Hz
Stromverbrauch	< 1500W
Rotierende Probenplattform	A B C Positionen
Garantie	Ein Jahr beschränkte Garantie mit lebenslangem Produktsupport

Tmax CE

TMAX Partner

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1 Standard-Exportpaket: Interner Antikollisionsschutz, externe Export-Holzkistenverpackung.

2 Versand per Express, auf dem Luftweg, auf dem Seeweg entsprechend den Anforderungen der Kunden, um den am besten geeigneten Weg zu finden.

3 Wir sind für den Schaden während des Versandvorgangs verantwortlich und tauschen den beschädigten Teil kostenlos für Sie aus.

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