Hochvakuum-Magnetron-Doppelkopf-Sputterbeschichtungsgerät mit Vakuumpumpe

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Produktdetails

Hochvakuum-Magnetron-Doppelkopf-Sputterbeschichtungsgerät mit Vakuumpumpe

Technische Daten

Vakuumpumpenset	(Öl erforderlich) Rotationsvakuumpumpe + (ölfrei) Turbo-Molekularpumpen-Set
Rotationspumpgeschwindigkeit	50 Hz: 16 m³/h (4,4 l/s) / 60 Hz: 19,2 m/h (5,2 l/s)
Molekulare Pumpgeschwindigkeit	300 L/s
Vakuumgrenze	5 x10^-5Pa
Arbeitsdruck	0,5–5 Pa
Staubsaugzeit	10 Min(10^-3Pa)
Vakuummessung	Messbereich von Atmosphäre bis 10^-6Pa
Gassteuerung	Gasdurchflussregler
Kammergröße	Ï260*200mm (Höhe) Metall
Magnetron-Zielquelle	Zielgröße: 50 x 3 mm (Cu) / Zielquelle: Schwach magnetische Substanz/Materialien
Betriebsmethode	Bedienungsanleitung
Gewicht/Größe	100 kg / 610 mm Länge420 mm Breite490 mm Höhe
Stromversorgung	AC 110V 60Hz oder AC 220V 50Hz
Stromverbrauch	<3000W
Kühlmethode	Luftkühlung (Pumpe) + Wasserkühlung (Sputtertarget)
Garantie	Ein Jahr beschränkte Garantie mit lebenslangem Produktsupport

Tmax CE

TMAX Partner

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1 Standard-Exportpaket: Interner Antikollisionsschutz, externe Export-Holzkistenverpackung.

2 Versand per Express, auf dem Luftweg, auf dem Seeweg entsprechend den Anforderungen der Kunden, um den am besten geeigneten Weg zu finden.

3 Wir sind für den Schaden während des Versandvorgangs verantwortlich und tauschen den beschädigten Teil kostenlos für Sie aus.

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