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Artikel-Nr.:
TMAX-4Q:
CE CertifiedLabor-Vakuum-Spin-Coater mit Substrat von 8 bis 12 Zoll und Vakuumpumpe
Hauptmerkmale:
1. Unterstützt 12-Zoll-Siliziumwafer-Schleuderbeschichtung
2. Die maximale Drehzahl kann 6000 U/min erreichen.
3. Beschleunigung 10- 1000RPM/S stufenlos einstellbar
4. Mit Bluetooth-Kommunikation
5. Unterstützt die Standard-485-Modbus-Kommunikation
6. Kostenlose PC-Steuerungssoftware.
Spin Coater-Spezifikationen: KW-4Q Spin Coater:
Substratgröße |
200–300 mm (8 Zoll bis 12 Zoll) |
Geschwindigkeitsbereich |
10-6000 U/min |
Beschleunigungsbereich |
10- 1000RPM/Sï¼ Einstellbar |
Stabilität der Motorgeschwindigkeit |
±1RPM |
Gleichmäßigkeit der Schleuderbeschichtung |
±1% |
Mensch-Maschine-Schnittstelle |
8-Zoll-Touchscreen |
Kommunikationsschnittstelle |
USB (Standard)/RS485 (optional)/Bluetooth (Standard) |
Dreh dich um |
Unterstützung vorwärts und rückwärts |
Stift |
Stylus BAMBOO Widerstandsstift (Standard) |
Vakuumpumpe |
SC-550V |
Daten einstellen |
Unbegrenzte Datengruppen, jede Gruppe verfügt über 15 Geschwindigkeiten (Standard) oder unbegrenzte Geschwindigkeiten (optional) |
Sekunden pro Periode |
0- 10000s |
Speicherdaten |
Unbegrenzte Datenmenge |
Datenschutz |
Standard mit Abschaltschutz |
Betriebsspannung (Spin Coater) |
AC100-250V, einphasig, 50/60Hz |
Betriebsspannung (Pumpe) |
AC220V (Standard) AC110V (Optional) |
Pumpgeschwindigkeit |
â¥60L/MIN |
Maximales Vakuum |
-85KPA |
Schallpegel |
â¤55db |
Spin-Coater-Leistung |
2KW |
Pumpenleistung |
350W |
Abmessungen (Spin Coater) |
550mm(B)X550mm(T)X350mm(H) |
Gewicht (Spin Coater) |
50 kg |
Gewicht (Pumpe) |
9KG |
Relative Luftfeuchtigkeit |
< 85 % |
Umgebungstemperatur |
0-40â |
Garantie |
1 Jahr |
Vorherige :
Lab 200C Vakuum-Spin-Coater mit HeizfunktionNächste :
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