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Artikel-Nr.:
TMAX-4Q:
CE CertifiedLabor-Vakuum-Spin-Coater mit Substrat von 8 bis 12 Zoll und Vakuumpumpe
Hauptmerkmale:
1. Unterstützt 12-Zoll-Siliziumwafer-Schleuderbeschichtung
2. Die maximale Drehzahl kann 6000 U/min erreichen.
3. Beschleunigung 10- 1000RPM/S stufenlos einstellbar
4. Mit Bluetooth-Kommunikation
5. Unterstützt die Standard-485-Modbus-Kommunikation
6. Kostenlose PC-Steuerungssoftware.
Spin Coater-Spezifikationen: KW-4Q Spin Coater:
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Substratgröße |
200–300 mm (8 Zoll bis 12 Zoll) |
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Geschwindigkeitsbereich |
10-6000 U/min |
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Beschleunigungsbereich |
10- 1000RPM/Sï¼ Einstellbar |
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Stabilität der Motorgeschwindigkeit |
±1RPM |
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Gleichmäßigkeit der Schleuderbeschichtung |
±1% |
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Mensch-Maschine-Schnittstelle |
8-Zoll-Touchscreen |
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Kommunikationsschnittstelle |
USB (Standard)/RS485 (optional)/Bluetooth (Standard) |
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Dreh dich um |
Unterstützung vorwärts und rückwärts |
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Stift |
Stylus BAMBOO Widerstandsstift (Standard) |
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Vakuumpumpe |
SC-550V |
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Daten einstellen |
Unbegrenzte Datengruppen, jede Gruppe verfügt über 15 Geschwindigkeiten (Standard) oder unbegrenzte Geschwindigkeiten (optional) |
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Sekunden pro Periode |
0- 10000s |
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Speicherdaten |
Unbegrenzte Datenmenge |
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Datenschutz |
Standard mit Abschaltschutz |
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Betriebsspannung (Spin Coater) |
AC100-250V, einphasig, 50/60Hz |
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Betriebsspannung (Pumpe) |
AC220V (Standard) AC110V (Optional) |
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Pumpgeschwindigkeit |
â¥60L/MIN |
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Maximales Vakuum |
-85KPA |
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Schallpegel |
â¤55db |
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Spin-Coater-Leistung |
2KW |
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Pumpenleistung |
350W |
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Abmessungen (Spin Coater) |
550mm(B)X550mm(T)X350mm(H) |
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Gewicht (Spin Coater) |
50 kg |
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Gewicht (Pumpe) |
9KG |
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Relative Luftfeuchtigkeit |
< 85 % |
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Umgebungstemperatur |
0-40â |
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Garantie |
1 Jahr |





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