Gerätename und Modell

Plasma-Magnetron-Beschichtungsgerät VTC-2RF

Grundlegende pParameter

· Stromversorgung: AC 220V 50HZ

· Leistung: < 1800W

RF ppower sVersorgung

· Eingangsleistung: 220 V 3A

· Ausgangsleistung: 0–300 W

· Ausgangsfrequenz: 13,56 MHz

· Kühlmodus: Der Kühlmodus im Gerät ist Luftkühlung

· Größe: 444 (L) *410 (B) *128 (H)

Magnetron-Sputterköpfe

· 2-Zoll-Magnetron-Sputterkopf (mit wassergekühlter Zwischenschicht), verbunden mit der Vakuumkammer mit Schnellverbindung

· Anforderungen an die Zielgröße: Ï50* (0,1-5) mm dick

· Der 2-Zoll-Magnetron-Sputterkopf hält der maximalen HF-Leistung stand: 300 W

· Der 2-Zoll-Magnetron-Sputterkopf hält der maximalen Gleichstromleistung stand: 500 W

Sputter cKammer

· Kammergröße: Außendurchmesser Ï166* Innendurchmesser Ï150* Höhe 250 mm, hergestellt aus hochreinem Quarz

· Dichtungsflansch: Durchmesser 174 mmï¼aus Metallaluminium, abgedichtet durch Fluorkautschuk-Dichtungsring

· Auf der Flanschabdeckung ist eine manuell betätigte Ablenkplatte zum Vorsputtern des Targets installiert, und eine Ï6,35-Hülsenverbindung ist im Lieferumfang enthaltene Flanschdeckel zum Anschluss des Ansaugrohres.

Ein Edelstahlnetz bedeckt die gesamte Quarzkammer, um das Plasma abzuschirmen

· Kammervakuum: ï¼1,0Ã10-2 Torr (mit bipolarer Drehschieber-Vakuumpumpe), ï¼5Ã10-5 Torr (vOrtex Molecular pump)

· Wenn ein höheres Vakuum erforderlich ist, kann die Vakuumkammer aus Edelstahl individuell angepasst werden (der Vakuumgrad kann 5*10-6 Torr oder weniger erreichen)

· Der Hohlraum-Lufteinlass ist ein ø6,35-mm-Edelstahl-Doppelmuffengelenk, das über das PTFE-Rohr mit der Gasflasche verbunden werden kann, und die Größe des Lufteinlasses wird durch ein Präzisions-Mikroregulierungsventil gesteuert.

Beispiel sTands

· Der Probentisch kann gedreht (für eine gleichmäßigere Filmproduktion) und beheizt werden

· Probengröße: 50 mm Durchmesser (bis zu 2 Zoll Substrat können platziert werden)

· Rotationsgeschwindigkeit: 1–10 U/min (einstellbar)

· Die maximale Heiztemperatur des Probentisches beträgt 700 °C (kurzfristige Verwendung, konstante Temperatur überschreitet nicht 1 Stunde), und die Temperatur für die langfristige Verwendung beträgt 500 °C

· Genauigkeit der Temperaturregelung: ±10â

Vakuum-Anzeigeeinheit

· Vakuummetermodell: ZDZ-52T

· Messbereich: 1,0×105Pa~1,0×10-1Pa

· Effektiver Bereich: 3,0×103Pa~1,0×100Pa

· Silikonschlauch: ZJ-52T/KF16

· Panelgröße: 96*96 mm

· Die Regulierung des Vakuummeters kann nur Luft und Stickstoff messen, und andere Fälle mit einem großen Anteil an Gaskomponenten müssen korrigiert werden.

Vakuumsystem (optional)

· Vakuumschnittstelle ist KF25-Schnittstelle

· Vakuumpumpenmodell: VRD-16

· Pumprate: 4,4L /S

· Motorleistung: 750 W

· Grenzdruck: 5Ã10-1Pa (ohne Last)

Wasserkühlungsausrüstung (optional)

· Modell: KJ-5000

· Arbeitsstrom: 1,4–2,1 A

· Kühlleistung: 2361 Btu/h

· Größe: 55 × 28 × 43 cm (Länge × Breite × Höhe)

· Wassertankkapazität: 6L

· Wasserdurchflussrate: 16 l/min

Film tDicke gDicke (optional)

· Auf dem Instrument ist ein Präzisions-Quarzvibrations-Filmdickenmessgerät installiert, um die Filmdicke in Echtzeit mit einer Auflösung von 0,10 A zu überwachen

· LED-Anzeige, aber auch Eingabe der filmbezogenen Daten

Gesamtabmessungen

Gerätegröße: L 550 mm à B 550 m à H 1100 mm

Herdgröße: L 600 mm, B 600 m, H 600 mm

Gewicht

Etwa 55 kg

Haltbarkeitsdauer

1 Jahr (ausgenommen Verschleißteile wie Dichtringe)

Vorsichtsmaßnahmen

· Der Luftdruck in der Kammer darf nicht höher als 0,02 MPa (relativer Luftdruck) sein;

· Aufgrund des hohen Drucks im Inneren der Flasche muss an der Flasche ein Druckminderventil installiert werden, wenn Gas in das Quarzrohr injiziert wird. Um die Sicherheit zu gewährleisten, wird empfohlen, einen Druck von weniger als 0,02 MPa zu verwenden. Wir empfehlen den Kauf eines Druckminderventils von unserem Unternehmen mit einem Messbereich von 0,01 MPa bis 0,1 MPa, das genauer und sicherer in der Anwendung ist.

· Für Probenerwärmungsexperimente wird nicht empfohlen, das Auslassventil und das Einlassventil am Flanschende des Ofenrohrs zu schließen. Wenn es notwendig ist, das Luftventil zu schließen, um die Probe zu erhitzen, muss immer auf die Anzeige des Manometers geachtet werden. Wenn die Druckanzeige größer als 0,02 MPa ist, muss das Entlüftungsventil sofort geöffnet werden, um Unfälle (wie Ofenrohrbruch, herausfliegende Flansche usw.) zu verhindern.

· Wir empfehlen Kunden nicht, brennbare, explosive und giftige Gase zu verwenden. Wenn Kunden aus technologischen Gründen tatsächlich brennbare, explosive und giftige Gase verwenden müssen, ergreifen Sie bitte selbst entsprechende Schutz- und Explosionsschutzmaßnahmen. Das Unternehmen übernimmt keine Verantwortung für Probleme, die durch die Verwendung brennbarer, explosiver und giftiger Gase entstehen.