Funktionen

· Präzisionspoliervorrichtung zum präzisen Polieren und Rückdünnen von Wafern/Substraten

· Dickenkontrollschraubenvorrichtung mit einer Auflösung von 0,005 mm, um den Materialabtrag zu begrenzen

· Diese Poliervorrichtung kann mit Unipol 1202 und 1502 und jeder Präzisionspoliermaschine von 12 Zoll oder größer mit Jochhalterung ausgestattet werden, um automatisches Polieren oder Läppen zu erreichen

· Auf der Unterseite der Vorrichtung ist eine superharte Wolframlegierung angeschweißt, um ein beständiges Polieren zu gewährleisten

· Maximale Probendicke: 13 mm

· Maximaler Verfahrweg: 14 mm

Probenhalter-Vakuumspannfutter

· Die maximale Größe eines Wafers oder Substrats beträgt 4 Zoll

· Wenn die Dicke der Probe mehr als 0,15 mm beträgt, verwenden Sie Vakuumabsorption. Wenn die Dicke weniger als 0,15 mm beträgt, verwenden Sie bitte Wachs

Digitales Mikrometer

· Ein digitales Mikrometer mit einer Auflösung von +/- 1 Mikrometer für genaueres Läppen ist im Lieferumfang enthalten.

Druckanzeige

· Eine digitale Waage zum Messen des Gerätegewichts (Druck) ist im Lieferumfang enthalten.

· Das Gewicht kann während der Messung auf der Digitalwaage durch Schrauben von 1 g bis 2000 g eingestellt werden.

Vakuumabsorption und Filter

· Erfordern eine Vakuumpumpe mit einer Leistung von 70 l/min.

· Um die Vakuumpumpe vor Feuchtigkeit und Flüssigkeit zu schützen, schließen Sie den Filter zwischen der Halterung und der Pumpe an

Größe

Außendurchmesser: 146 mm; Höhe: 266 mm

Optionales Zubehör

Für die Vakuumabsorption ist eine Vakuumpumpe erforderlich, bitte separat bestellen.