Gleichstrom- oder HF-Hochvakuum-Magnetron-Ionen-Sputter-Beschichtungsgerät zur Herstellung von Perowskit-Solarzellen

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Artikel-Nr.:
TMAX-650MH
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Produktdetails

DC- oder RF-Hochvakuum-Magnetron-Ionen-Sputter-Beschichtungsgerät zur Herstellung von Perowskit-Solarzellen

Einführung

Hochvakuum-Magnetron-Ionen-Sputter-Beschichter ist ideal und konzipiert für die Materialwissenschaft und Probenvorbereitung. Es wird von den meisten Universitäten und wissenschaftlichen Forschungsinstituten der Materialwissenschaft und -technik häufig zum Beschichten von Metallen, Keramiken, Halbleitern, Isolatoren oder anderen Arten der Membranmaterialvorbereitung verwendet.

Der Hochvakuum-Magnetron-Ionen-Sputter-Beschichter bietet die stabilste Sputter-Umgebung und erreicht in sehr kurzer Zeit die grundlegenden experimentellen Bedingungen des Magnetron-Sputterns. Es bietet DC/RF zwei Arten von Sputterleistungsoptionen, die das Sputtern leitender oder nicht leitender Substanzen auf die Probe ermöglichen und die Leistung der physikalischen Gasphasenabscheidung (PVD) verbessern. Es eignet sich auch hervorragend für die Oberflächenbehandlung und -beschichtung. Es ist einfach zu bedienen und benutzerfreundlich.

Vakuumpumpe und Kühler sind im Lieferumfang enthalten.

Parameter

Vakuum pump set	(Oil erforderlich) rotary vacuum pump+(oil free) turbo moleculan pump set
Rotary pPumpen sPeed	50 Hz: 16 m³/h (4,4 L/s)/ 60 Hz: 19,2m³/h (5,2 L/s)
Molekular pPumpen sGeschwindigkeit	300 L/s
Vakuum limitieren	5x10-5Pa
Arbeit pDruck	0,5–5 Pa
Saugen time	10 Min(10-3Pa)
Vakuum mleicht	Messbereich von Atmosphäre bis 1*10Pa
Gas cSteuerung	Gas fniedrig cRegler
Kammer sGröße	Ï260*200mm (Höhe) mEtal
Magnetron tZiel sQuelle	Zielgröße Ï 50*3mm(Cu)/tZielquelle: weak mmagnetischer sSubstanz /mMaterialien
Operation mMethode	Bedienungsanleitungl
Gewicht/GrößeGröße	100 kg/610 mm Länge x 420 mm Breite x 490 mm Höhe
Stromversorgung sVersorgung	AC 110V 60Hz oder AC 220V 50Hz
Stromverbrauchc	<3000W
Kühlung mMethode	Luft Kühlung(pUmluft)+ WasserWasserkühlungKühlung(sPumpen tZiel)
Garantie	Ein Jahr beschränkte Garantie mit lebenslangem Produktsupportt